近期，坐落嘉定区菊园新区的中国科学院上海微体系与信息技能研究所李昕欣团队选用微电子机械体系（MEMS）工艺，创始一项根据微机械悬臂梁结构的谐振丈量芯片技能，制作出现在世界上最活络的“秤”，其质量分辨率到达亚皮克级（即10-13克）水平。
新资料研制所需的科学仪器，不只要具有极低的检测限，还要集成实时丈量、快速精准控温等功能。对此，团队在芯片的MEMS微悬臂梁上集成了谐振鼓励器材、频率读出电路和样品程序升温加热与控温元件，可以在超快速程序变温过程中原位、实时、接连地丈量极微小质量改变。当与顶端样品区待测资料效果的分子数目改变时，悬臂梁谐振频率也会随之改变，继而换算出质量改变值，成功破解仪器丈量难题。
更难能可贵的是，该芯片可通过MEMS工艺进行晶圆级的低成本规划制作，满意大批量使用需求。现在，团队自主研制的系列高端科学仪器已远销至发达国家的多个科学实验室，为我国高端科学仪器走向世界，迈出了坚实的一步。
